Halfgeleier- en skyfies en oplossings

/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/
/semiconductor-and-chip-cases-solutions/

Die verkoelingstelsels vir vloeibare stikstof word wyd gebruik in die halfgeleier- en skyfiebedryf, insluitend die proses van,

  • Die tegnologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE)
  • Die toets van die skyfie na COB-pakket

Verwante Produkte

MOLEKULARRE BEEL EPITAXY

Die tegnologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE) is in die vyftigerjare ontwikkel om halfgeleier-dunfilmmateriaal voor te berei met behulp van vakuumverdampingstegnologie. Met die ontwikkeling van ultrahoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei tot die veld van halfgeleierwetenskap.

HL het opgemerk die vraag na MBE-vloeibare stikstofverkoelingstelsel, georganiseerde tegniese ruggraat om suksesvol 'n spesiale MBE-vloeibare stikstofkoolstelsel vir MBE-tegnologie te ontwikkel en 'n volledige stel vakuumgeïsoleerde leidingstelsels, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstitute gebruik is. .

Die algemene probleme van die halfgeleier- en skyfiebedryf sluit in,

  • Die druk van vloeibare stikstof in terminale (MBE) toerusting. Voorkom drukoorlading deur toerusting vir skadelike terminale (MBE).
  • Veelvuldige beheermaatreëls vir die in- en uitlaat van vloeibare kriogene
  • Die temperatuur van vloeibare stikstof in eindapparatuur
  • 'N Redelike hoeveelheid kristogene gasvrystellings
  • (Outomaties) Skakel van hoof- en taklyne
  • Drukaanpassing (vermindering) en stabiliteit van VIP
  • Skoonmaak van die moontlike onsuiwerhede en ysreste uit die tenk
  • Vul tyd van die terminale vloeibare toerusting
  • Pypleiding vooraf verkoeling
  • Vloeibare weerstand in VIP-stelsel
  • Beheer verlies aan vloeibare stikstof tydens staking van die stelsel

HL se Vacuum Isolated Pipe (VIP) is volgens ASME B31.3 Pressure Piping Code as standaard gebou. Ingenieurservaring en gehaltebeheervermoë om die doeltreffendheid en koste-effektiwiteit van die klant se aanleg te verseker.

OPLOSSINGS

HL Cryogenic Equipment bied aan klante die Vacuum-geïsoleerde leidingstelsel om aan die vereistes en voorwaardes van die halfgeleier- en skyfiebedryf te voldoen:

1. Kwaliteitsbestuurstelsel: ASME B31.3 Drukleidingkode.

2. 'n Spesiale faseseparator met veelvuldige Cryogenic vloeibare inlaat en uitlaat met outomatiese beheerfunksie voldoen aan die vereiste van gasemissie, herwinde vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.

3. Voldoende en tydige uitlaatontwerp verseker dat eindtoerusting altyd binne die ontwerpte drukwaarde werk.

4. Die gasvloeistofversperring word in die vertikale VI-pyp aan die einde van VI-pypleiding geplaas. Gas-vloeistof-barrière gebruik die gasafdichtingsbeginsel om die hitte van die einde van die VI-pypleiding in die VI-leiding te blokkeer, en die verlies aan vloeibare stikstof effektief te verminder tydens ononderbroke en afwisselende bediening van die stelsel.

5.VI Piping Beheer deur die Vacuum Geïsoleerde Klep (VIV) Reeks: Insluitend Vacuum Geïsoleerde (Pneumatiese) Afsluitklep, Vacuum Geïsoleerde Terugklep, Vacuum Geïsoleerde Regelklep ens. Verskeie soorte VIV kan modulêr gekombineer word om die VIP te beheer vereis. VIV is geïntegreer met VIP-voorafvervaardiging in die vervaardiger, sonder geïsoleerde behandeling ter plaatse. Die seëleenheid van VIV kan maklik vervang word. (HL aanvaar die kryogene klepmerk wat deur klante aangewys word, en maak dan vakuumgeïsoleerde kleppe deur HL. Sommige merke en modelle van kleppe kan moontlik nie in vakuumgeïsoleerde kleppe gemaak word nie.)

6. Skoonheid, as daar addisionele vereistes is vir die skoonheid van die binnebandoppervlak. Daar word voorgestel dat klante BA- of EP-vlekvrye staalpype as VIP-binnepype kies om die mors van vlekvrye staal verder te verminder.

7. Vakuumgeïsoleerde filter: Reinig die moontlike onsuiwerhede en ysreste uit die tenk.

8. Na 'n paar dae of langer afskakel of instandhouding, is dit baie nodig om die VI-leidings- en terminale toerusting voor te koel voordat kriogen vloeistof binnegedring word, om ysslag te vermy nadat kriogen vloeistof direk in die VI-leidings- en eindtoerusting kom. Voorafkoelingsfunksie moet in ontwerp oorweeg word. Dit bied beter beskerming vir eindtoerusting en VI leidingondersteuningstoerusting soos kleppe.

9. Pak vir beide dinamiese en statiese vakuumgeïsoleerde (buigsame) leidingstelsel.

10. Dynamiese vakuumgeïsoleerde (buigsame) leidingstelsel: bestaan ​​uit VI buigsame slange en / of VI-pype, springerslange, vakuumgeïsoleerde klepstelsel, faseseparators en dinamiese vakuumpompstelsel (insluitend die vakuumpompe, solenoïde kleppe en vakuummeters ens. ). Die lengte van enkele VI buigsame slange kan volgens die gebruiker se vereistes aangepas word.

11. Verskeie verbindingstipes: Vacuum-bajonetverbinding (VBC) en gelaste verbinding kan gekies word. Die VBC-tipe het nie geïsoleerde behandeling ter plaatse nodig nie.