Die vloeibare stikstofverkoelingstelsels word wyd gebruik in die halfgeleier- en skyfiebedryf, insluitend die proses van,
- Die tegnologie van Molekulêre Straal Epitaksie (MBE)
- Die skyfie se toets na COB-pakket
Verwante Produkte
Vakuum Geïsoleerde Pypreeks
Vakuum Geïsoleerde Buigsame Slangreeks
Dinamiese Vakuumpompstelsel
Vakuum Geïsoleerde Fase Skeierreeks
Vakuum Geïsoleerde Klep Reeks
Pypstelsel Ondersteuningstoerusting
MOLEKULÊRE STRAAL EPITAXY
Die tegnologie van Molekulêre Bundel-epitaksie (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier-dunfilmmateriale voor te berei deur vakuumverdampingstegnologie te gebruik. Met die ontwikkeling van ultrahoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei na die veld van halfgeleierwetenskap.
HL het die vraag na MBE vloeibare stikstofverkoelingstelsels opgemerk, georganiseerde tegniese ruggraat georganiseer om suksesvol 'n spesiale MBE vloeibare stikstofkoelstelsel vir MBE-tegnologie te ontwikkel, en 'n volledige stel vakuum-geïsoleerde pypstelsels, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstitute gebruik is.
Die algemene probleme van die halfgeleier- en skyfiebedryf sluit in,
- Die druk van vloeibare stikstof in terminale (MBE) toerusting. Voorkom dat drukoorlading terminale (MBE) toerusting beskadig.
- Verskeie kriogeniese vloeistofinlaat- en uitlaatkontroles
- Die temperatuur van vloeibare stikstof in terminale toerusting
- 'n Redelike Hoeveelheid Kriogeniese Gasvrystellings
- (Outomatiese) Skakel van Hoof- en Taklyne
- Drukverstelling (Vermindering) en Stabiliteit van VIP
- Verwydering van moontlike onsuiwerhede en ysresidu uit die tenk
- Vultyd van die terminale vloeistoftoerusting
- Pyplynvoorverkoeling
- Vloeistofweerstand in VIP-stelsel
- Beheerverlies van vloeibare stikstof tydens onderbroke diens van die stelsel
HL se Vakuum-Geïsoleerde Pyp (VIP) word as standaard volgens ASME B31.3 Drukpypkode gebou. Ingenieurservaring en kwaliteitsbeheervermoë om die doeltreffendheid en koste-effektiwiteit van die kliënt se aanleg te verseker.
OPLOSSINGS
HL Cryogenic Equipment bied kliënte die vakuum-geïsoleerde pypstelsel om aan die vereistes en voorwaardes van die halfgeleier- en skyfiebedryf te voldoen:
1. Kwaliteitsbestuurstelsel: ASME B31.3 Drukpypkode.
2. 'n Spesiale faseskeier met veelvuldige kriogeniese vloeistofinlaat en -uitlaat met outomatiese beheerfunksie voldoen aan die vereiste van gasvrystelling, herwinde vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.
3. Voldoende en tydige uitlaatontwerp verseker dat terminale toerusting altyd binne die ontwerpte drukwaarde werk.
4. Die gas-vloeistofversperring word in die vertikale VI-pyp aan die einde van die VI-pyplyn geplaas. Die gas-vloeistofversperring gebruik die gasseëlbeginsel om die hitte van die einde van die VI-pyplyn in die VI-pype te blokkeer, en die verlies van vloeibare stikstof effektief te verminder tydens onderbroke en intermitterende diens van die stelsel.
5.VI-pype wat deur die vakuum-geïsoleerde klep (VIV)-reeks beheer word: Insluitend vakuum-geïsoleerde (pneumatiese) afsluitklep, vakuum-geïsoleerde terugslagklep, vakuum-geïsoleerde reguleringsklep, ens. Verskeie tipes VIV kan modulêr gekombineer word om die VIP soos benodig te beheer. VIV is geïntegreer met VIP-voorvervaardiging in die vervaardiger, sonder geïsoleerde behandeling op die perseel. Die seëleenheid van VIV kan maklik vervang word. (HL aanvaar die kriogeniese klephandelsmerk wat deur kliënte aangewys word, en vervaardig dan vakuum-geïsoleerde kleppe deur HL. Sommige handelsmerke en modelle van kleppe kan moontlik nie in vakuum-geïsoleerde kleppe omskep word nie.)
6. Netheid, indien daar bykomende vereistes vir die netheid van die binnebuisoppervlak is. Dit word voorgestel dat kliënte BA- of EP-vlekvrye staalpype as VIP-binnepype kies om vlekvrye staalmors verder te verminder.
7. Vakuum-geïsoleerde filter: Verwyder die moontlike onsuiwerhede en ysreste uit die tenk.
8. Na 'n paar dae of langer stilstand of onderhoud, is dit baie noodsaaklik om die VI-pype en terminale toerusting voor te verkoel voordat kriogeniese vloeistof binnedring, om ysslak te vermy nadat kriogeniese vloeistof direk in die VI-pype en terminale toerusting ingaan. Die voorverkoelingsfunksie moet in ag geneem word in die ontwerp. Dit bied beter beskerming vir terminale toerusting en VI-pypondersteuningstoerusting soos kleppe.
9. Geskik vir beide dinamiese en statiese vakuum-geïsoleerde (buigsame) pypstelsels.
10. Dinamiese vakuum-geïsoleerde (buigsame) pypstelsel: Bestaan uit VI buigsame slange en/of VI-pyp, springslange, vakuum-geïsoleerde klepstelsel, faseskeiers en dinamiese vakuumpompstelsel (insluitend die vakuumpompe, solenoïdekleppe en vakuummeters, ens.). Die lengte van 'n enkele VI buigsame slang kan aangepas word volgens die gebruiker se vereistes.
11. Verskeie verbindingstipes: Vakuumbajonetverbinding (VBC) tipe en gelaste verbinding kan gekies word. Die VBC-tipe benodig nie geïsoleerde behandeling op die perseel nie.
