Die vloeibare stikstofverkoelingstelsels word wyd gebruik in die halfgeleier- en chipbedryf, insluitend die proses van,
- Die tegnologie van molekulêre balk -epitaksie (MBE)
- Die chip se toets na COB -pakket
Verwante produkte
Vakuum geïsoleerde pypreeks
Vakuum geïsoleerde buigsame slangreeks
Dinamiese vakuumpompstelsel
Vakuum geïsoleerde fase -skeidingsreeks
Vakuum geïsoleerde klepreeks
Pypstelselondersteuningstoerusting
Molekulêre balkepitaksie
Die tegnologie van molekulêre balkepitaksie (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier dun filmmateriaal met behulp van vakuumverdampingstegnologie voor te berei. Met die ontwikkeling van ultra-hoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei tot die veld van halfgeleierwetenskap.
HL het die vraag na MBE -vloeibare stikstofverkoelingstelsel, georganiseerde tegniese ruggraat opgemerk om 'n spesiale MBE -vloeibare stikstofstelsel vir MBE -tegnologie suksesvol te ontwikkel en 'n volledige stel vakuum -geïsoleerde pypstelsel, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstellings gebruik is .
Die algemene probleme van die halfgeleier- en chipbedryf sluit in,
- Die druk van vloeibare stikstof in terminale (MBE) toerusting. Verhoed dat die oorbelasting van die druk van terminale (MBE) se toerusting beskadig.
- Meervoudige kryogene vloeistofinlaat- en uitlaatkontroles
- Die temperatuur van vloeibare stikstof in terminale toerusting
- 'N redelike hoeveelheid kryogene gasvrystellings
- (Outomaties) Skakeling van hoof- en taklyne
- Drukverstelling (vermindering) en stabiliteit van VIP
- Maak die moontlike onsuiwerhede en ysreste van die tenk skoon
- Vultyd van die terminale vloeibare toerusting
- Pypleiding precooling
- Vloeistofweerstand in die VIP -stelsel
- Beheerverlies van vloeibare stikstof tydens diskontinue diens van die stelsel
HL se vakuum -geïsoleerde pyp (VIP) is gebou om ASME B31.3 Drukpypkode as 'n standaard te gee. Ingenieurservaring en kwaliteitskontrolevermoë om die doeltreffendheid en koste-effektiwiteit van die klant se aanleg te verseker.
Oplossings
HL -kryogene toerusting bied aan kliënte die vakuum -geïsoleerde pypstelsel om aan die vereistes en voorwaardes van die halfgeleier- en chipbedryf te voldoen:
1. Kwaliteitsbestuurstelsel: ASME B31.3 Drukpypkode.
2. 'n Spesiale fase -skeier met veelvuldige kryogene vloeistofinlaat en uitlaat met outomatiese beheerfunksie voldoen aan die vereiste van gas -emissie, herwinde vloeibare stikstof en temperatuur van vloeistof stikstof.
3. Voldoende en tydige uitlaatontwerp verseker dat terminale toerusting altyd binne die ontwerpte drukwaarde werk.
4. Die gas-vloeistofversperring word aan die einde van die VI-pypleiding in die vertikale VI-pyp geplaas. Gas-vloeistofversperring gebruik die gasseëlbeginsel om die hitte vanaf die einde van die VI-pypleiding in die VI-pype te blokkeer, en verminder die verlies aan vloeibare stikstof effektief tydens ononderbroke en onderbroke diens van die stelsel.
5.VI-pype wat deur die vakuum-geïsoleerde klep (VIV) -reeks beheer word: insluitend vakuum-geïsoleerde (pneumatiese) afsluitklep, vakuum-geïsoleerde tjekklep, vakuum-geïsoleerde reguleringsklep, ens. vereiste. VIV is geïntegreer met VIP-voorvervaardiging in die vervaardiger, sonder geïsoleerde behandeling ter plaatse. Die seëleenheid van VIV kan maklik vervang word. (HL aanvaar die kryogene klepmerk wat deur kliënte aangewys is, en maak dan vakuum -geïsoleerde kleppe deur HL. Sommige handelsmerke en modelle van kleppe kan moontlik nie in vakuum -geïsoleerde kleppe gemaak word nie.)
6. Kleinheid, as daar bykomende vereistes is vir die netheid van die binneste buisoppervlakte. Daar word voorgestel dat kliënte BA- of EP -vlekvrye staalpype kies as VIP -binnepype om die mors van vlekvrye staal verder te verminder.
7.Vacuum geïsoleerde filter: Maak die moontlike onsuiwerhede en ysreste van die tenk skoon.
8. Na 'n paar dae of langer afsluiting of onderhoud, is dit baie nodig om die VI -pype en terminale toerusting voor te berei voordat kryogene vloeistof ingeskryf word, om die ysslag te vermy nadat kryogene vloeistof direk die VI -pyp- en terminale toerusting betree. Precooling -funksie moet in die ontwerp oorweeg word. Dit bied beter beskerming vir terminale toerusting en VI -pypsteuntoerusting soos kleppe.
9. Sit vir beide dinamiese en statiese vakuum -geïsoleerde (buigsame) pypstelsel.
10.Dynamiese vakuum -geïsoleerde (buigsame) pypstelsel: bestaan uit VI -buigsame slange en/of VI -pyp, trui -slange, vakuum -geïsoleerde klepstelsel, fase -skeiers en dinamiese vakuumpompstelsel (insluitend die vakuumpompe, magneetkleppe en vakuumomplate, ens. ). Die lengte van enkele VI -buigsame slang kan volgens die gebruiker se vereistes aangepas word.
11.Varieuse verbindingstipes: VACUUM BAYONET Connection (VBC) tipe en sweisverbinding kan gekies word. Die VBC-tipe het nie geïsoleerde behandeling op die terrein nodig nie.
