Die vloeibare stikstofverkoelingstelsels word wyd gebruik in die halfgeleier- en skyfiebedryf, insluitend die proses van,
- Die tegnologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Die skyfie se toets na COB-pakket
Verwante produkte
Vakuum-geïsoleerde pypreeks
Vakuum-geïsoleerde buigsame slangreeks
Dinamiese vakuumpompstelsel
Vakuum-geïsoleerde fase-skeidingsreeks
Vakuum-geïsoleerde klepreeks
Pypstelselondersteuningstoerusting
MOLEKULÊRE STRAAL EPITAKSIE
Die tegnologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier dunfilmmateriaal voor te berei deur vakuumverdampingstegnologie te gebruik. Met die ontwikkeling van ultrahoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei na die veld van halfgeleierwetenskap.
HL het die vraag na MBE vloeibare stikstofverkoelingstelsel opgemerk, georganiseerde tegniese ruggraat om 'n spesiale MBE vloeibare stikstofkoelingstelsel vir MBE-tegnologie en 'n volledige stel vakuum-geïsoleerde pypstelsels suksesvol te ontwikkel, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstellings gebruik is .
Die algemene probleme van die halfgeleier- en skyfiebedryf sluit in,
- Die druk van vloeibare stikstof in terminale (MBE) toerusting. Voorkom drukoorlading van beskadigde terminale (MBE) toerusting.
- Veelvuldige Kriogeniese vloeistofinlaat- en -uitlaatkontroles
- Die temperatuur van vloeibare stikstof in terminale toerusting
- 'n Redelike hoeveelheid kriogeniese gasvrystellings
- (Outomatiese) Skakeling van hoof- en taklyne
- Drukaanpassing (Vermindering) en stabiliteit van VIP
- Maak die moontlike onsuiwerhede en ysreste uit die tenk skoon
- Vultyd van die terminale vloeibare toerusting
- Pyplyn Voorverkoeling
- Vloeistofweerstand in VIP-stelsel
- Beheer verlies van vloeibare stikstof tydens diskontinue diens van die stelsel
HL se Vacuum Insulated Pipe (VIP) is gebou volgens ASME B31.3 Pressure Piping-kode as 'n standaard. Ingenieurservaring en kwaliteitbeheervermoë om die doeltreffendheid en kostedoeltreffendheid van die kliënt se aanleg te verseker.
OPLOSSINGS
HL Cryogenic Equipment voorsien klante van die Vacuum Insulated Piping System om aan die vereistes en voorwaardes van die halfgeleier- en skyfiebedryf te voldoen:
1. Gehaltebestuurstelsel: ASME B31.3 Drukpypkode.
2. 'n Spesiale fase-skeier met veelvuldige kryogeniese vloeistofinlaat en -uitlaat met outomatiese beheerfunksie voldoen aan die vereiste van gasvrystelling, herwonne vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.
3.Genoegsame en tydige uitlaatontwerp verseker dat eindtoerusting altyd binne die ontwerpte drukwaarde werk.
4. Die Gas-vloeistofversperring word in die vertikale VI-pyp aan die einde van VI-pyplyn geplaas. Gas-vloeistofversperring gebruik die gasseëlbeginsel om die hitte vanaf die einde van die VI-pyplyn na die VI-pyp te blokkeer, en effektief die verlies van vloeibare stikstof te verminder tydens diskontinue en intermitterende diens van die stelsel.
5.VI pype beheer deur die vakuum-geïsoleerde klep (VIV)-reeks: Insluitend vakuum-geïsoleerde (pneumatiese) afsluitklep, vakuum-geïsoleerde terugslagklep, vakuum-geïsoleerde reguleringsklep ens. Verskeie tipes VIV kan modulêr gekombineer word om die VIP te beheer as vereis word. VIV is geïntegreer met VIP voorafvervaardiging in vervaardiger, sonder on-site Geïsoleerde behandeling. Die seëleenheid van VIV kan maklik vervang word. (HL aanvaar die kryogeniese klep-handelsmerk wat deur klante aangewys word, en maak dan vakuum-geïsoleerde kleppe deur HL. Sommige handelsmerke en modelle van kleppe kan dalk nie in vakuum-geïsoleerde kleppe gemaak word nie.)
6. Netheid, indien daar addisionele vereistes vir binnebandoppervlakteskoonheid is. Dit word voorgestel dat klante BA of EP vlekvrye staal pype as VIP binnepype kies om vlekvrye staal mors verder te verminder.
7. Vakuum-geïsoleerde filter: Maak die moontlike onsuiwerhede en ysreste uit die tenk skoon.
8.Na 'n paar dae of langer stilstand of instandhouding, is dit baie nodig om die VI Piping en terminale toerusting vooraf te verkoel voordat kryogeniese vloeistof binnegegaan word, om ysslak te vermy nadat kryogeniese vloeistof direk die VI Piping en terminale toerusting binnedring. Voorverkoelingsfunksie moet in die ontwerp in ag geneem word. Dit bied beter beskerming vir eindtoerusting en VI Piping-ondersteuningstoerusting soos kleppe.
9.Suit vir beide dinamiese en statiese vakuum-geïsoleerde (buigsame) pypestelsel.
10. Dinamiese vakuumgeïsoleerde (buigsame) pypstelsel: Bestaan uit VI buigsame slange en/of VI-pyp, springslange, vakuumgeïsoleerde klepstelsel, faseskeiers en dinamiese vakuumpompstelsel (insluitend die vakuumpompe, solenoïedkleppe en vakuummeters ens. ). Die lengte van enkel VI buigsame slang kan aangepas word volgens die gebruiker se vereistes.
11.Verskeie verbindingstipes: Vakuumbajonetverbinding (VBC) Tipe en gelaste verbinding kan gekies word. Die VBC-tipe het nie geïsoleerde behandeling op die perseel nodig nie.
