Tegnologie
Molekulêre bundel-epitaksie, of MBE, is 'n nuwe tegniek vir die groei van hoëgehalte dun films van kristalle op kristalsubstrate. In ultrahoë vakuumtoestande word die stoof toegerus met allerhande benodigde komponente om stoom te genereer. Deur gate wat gevorm word na die kollimasie van die atoom- of molekulêre bundel, word die atoom- of molekulêre bundel direk na die toepaslike temperatuur van die enkelkristalsubstraat ingespuit. Terselfdertyd word die molekulêre bundel na die substraat geskandeer. Dit kan die molekules of atome in die kristalbelyningslae laat groei om 'n dun film op die substraat te vorm.
Vir die normale werking van MBE-toerusting word hoë suiwerheid, lae druk en ultra-skoon vloeibare stikstof vereis om voortdurend en stabiel na die verkoelingskamer van die toerusting vervoer te word. Oor die algemeen het 'n tenk wat vloeibare stikstof verskaf 'n uitsetdruk tussen 0.3 MPa en 0.8 MPa. Vloeibare stikstof by -196 ℃ verdamp maklik in stikstof tydens pyplynvervoer. Sodra die vloeibare stikstof met 'n gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1:700 in die pyplyn vergas is, sal dit 'n groot hoeveelheid vloeibare stikstofvloeiruimte beslaan en die normale vloei aan die einde van die vloeibare stikstofpyplyn verminder. Daarbenewens is daar waarskynlik rommel in die vloeibare stikstofopgaartenk wat nie skoongemaak is nie. In die vloeibare stikstofpyplyn sal die teenwoordigheid van nat lug ook lei tot die vorming van ysslak. As hierdie onsuiwerhede in die toerusting vrygestel word, sal dit onvoorspelbare skade aan die toerusting veroorsaak.
Daarom word die vloeibare stikstof in die buitelug-opgaartenk na die MBE-toerusting in die stofvrye werkswinkel vervoer met hoë doeltreffendheid, stabiliteit en skoonheid, en die lae druk, geen stikstof, geen onsuiwerhede, 24 uur ononderbroke, so 'n vervoerbeheerstelsel is 'n gekwalifiseerde produk.



Bypassende MBE-toerusting
Sedert 2005 optimaliseer en verbeter HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hierdie stelsel en werk saam met internasionale MBE-toerustingvervaardigers. MBE-toerustingvervaardigers, insluitend DCA, REBER, het samewerkingsverhoudinge met ons maatskappy. MBE-toerustingvervaardigers, insluitend DCA en REBER, het aan 'n groot aantal projekte saamgewerk.
Riber SA is 'n toonaangewende wêreldwye verskaffer van molekulêre bundel-epitaksie (MBE) produkte en verwante dienste vir saamgestelde halfgeleiernavorsing en industriële toepassings. Die Riber MBE-toestel kan baie dun lae materiaal op die substraat neerlê, met baie hoë beheermaatreëls. Die vakuumtoerusting van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is toegerus met Riber SA. Die grootste toerusting is Riber 6000 en die kleinste is Compact 21. Dit is in 'n goeie toestand en is deur kliënte erken.
DCA is die wêreld se toonaangewende oksied-MBE. Sedert 1993 is sistematiese ontwikkeling van oksidasietegnieke, antioksidant-substraatverhitting en antioksidantbronne uitgevoer. Om hierdie rede het baie toonaangewende laboratoriums DCA-oksiedtegnologie gekies. Saamgestelde halfgeleier-MBE-stelsels word wêreldwyd gebruik. Die VJ vloeibare stikstof-sirkulasiestelsel van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en die MBE-toerusting van verskeie modelle van DCA het ooreenstemmende ervaring in baie projekte, soos die model P600, R450, SGC800 ens.

Prestasietabel
Sjanghai Instituut vir Tegniese Fisika, Chinese Akademie vir Wetenskappe |
Die 11de Instituut van China Elektroniese Tegnologie Korporasie |
Instituut vir Halfgeleiers, Chinese Akademie vir Wetenskappe |
Huawei |
Alibaba DAMO Akademie |
Powertech Tegnologie Bpk. |
Delta Elektronika Bpk. |
Suzhou Everbright Fotonika |
Plasingstyd: 26 Mei 2021