Die Chip MBE -projek is die afgelope jare voltooi

Tegnologie

Molekulêre balkepitaksie, oftewel MBE, is 'n nuwe tegniek om dun dun films van kristalle op kristal-substrate van hoë gehalte te kweek. In ultra-hoë vakuumtoestande is die verhittingsstoof toegerus met allerlei vereiste komponente en wek stoom, deur gate wat gevorm word na die versameling van balkatoom- of molekulêre balk, direkte inspuiting tot die toepaslike temperatuur van die enkelkristal-substraat, wat molekulêre balk tot beheer Die substraatskandering terselfdertyd kan dit die molekules of atome in kristalbelyningslae maak om 'n dun film op 'n substraat "groei" te vorm.

Vir die normale werking van MBE-toerusting, moet 'n hoë suiwerheid, lae druk en ultra-skoon vloeibare stikstof voortdurend en stabiel na die koelkamer van die toerusting vervoer word. Oor die algemeen het 'n tenk wat vloeibare stikstof verskaf, 'n uitsetdruk tussen 0,3MPa en 0,8MPa. Liquid stikstof by -196 ℃ word maklik verdamp tydens stikstof tydens pypleidingvervoer. Sodra die vloeibare stikstof met 'n gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1: 700 in die pypleiding vergader is, sal dit 'n groot hoeveelheid vloeibare stikstofvloei-ruimte inneem en die normale vloei aan die einde van die vloeibare stikstofpypleiding verminder. Daarbenewens is daar waarskynlik nie in die vloeibare stikstofopgaartenk wat nie skoongemaak is nie. In die vloeibare stikstofpypleiding sal die bestaan ​​van nat lug ook lei tot die opwekking van ysslak. As hierdie onsuiwerhede in die toerusting ontslaan word, sal dit die toerusting onvoorspelbare skade berokken.

Daarom word die vloeibare stikstof in die buite-opgaartenk na die MBE-toerusting vervoer in die stofvrye werkswinkel met 'n hoë doeltreffendheid, stabiliteit en skoon, en die lae druk, geen stikstof, geen onsuiwerhede, 24 uur ononderbroke, sulke vervoerbeheerstelsel is 'n gekwalifiseerde produk.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Bypassende MBE -toerusting

Sedert 2005 optimaliseer en verbeter HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hierdie stelsel en werk hy saam met internasionale MBE -toerustingvervaardigers. MBE -toerustingvervaardigers, insluitend DCA, Reber, het samewerkende betrekkinge met ons onderneming. MBE -toerustingvervaardigers, insluitend DCA en Reber, het in 'n groot aantal projekte saamgewerk.

Riber SA is 'n toonaangewende wêreldwye verskaffer van molekulêre balk -epitaxy (MBE) -produkte en verwante dienste vir saamgestelde halfgeleiernavorsing en industriële toepassings. Die Riber MBE -toestel kan baie dun lae materiaal op die substraat neersit, met baie hoë kontroles. Die vakuumtoerusting van HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) is toegerus met Riber SA Die grootste toerusting is Riber 6000 en die kleinste is kompak 21. Dit is in 'n goeie toestand en is deur kliënte erken.

DCA is die wêreld se voorste oksied MBE. Sedert 1993 is sistematiese ontwikkeling van oksidasietegnieke, antioksidant -substraatverhitting en antioksidantbronne uitgevoer. Om hierdie rede het baie voorste laboratoriums DCA -oksiedtegnologie gekies. Saamgestelde halfgeleier MBE -stelsels word oor die hele wêreld gebruik. Die VJ -vloeibare stikstofsirkulasiestelsel van HL -kryogene toerusting (HL CRYO) en die MBE -toerusting van verskeie modelle van DCA het die bypassende ervaring in baie projekte, soos die Model P600, R450, SGC800 ens.

TCM (2)

Prestasie -tafel

Sjanghai Instituut vir Tegniese Fisika, Chinese Akademie vir Wetenskappe
Die 11de Instituut vir China Electronics Technology Corporation
Instituut vir halfgeleiers, Chinese Akademie vir Wetenskappe
Huawei
Alibaba Damo Akademie
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Postyd: Mei-26-2021

Los u boodskap