Tegnologie
Molekulêre straalepitaxy, of MBE, is 'n nuwe tegniek vir die groei van hoë kwaliteit dun films van kristalle op kristal substrate. In ultra-hoë vakuum toestande, deur die verwarming stoof is toegerus met allerhande vereiste komponente en genereer stoom, deur gate gevorm na kollimerende balk atoom of molekulêre bundel, direkte inspuiting na die toepaslike temperatuur van die enkelkristal substraat, beheer molekulêre bundel om die substraat skandering terselfdertyd, kan dit die molekules of atome in kristalbelyningslae maak om 'n dun film op 'n substraat te vorm "groei".
Vir die normale werking van MBE-toerusting word vereis dat hoë suiwerheid, lae druk en ultraskoon vloeibare stikstof voortdurend en stabiel na die verkoelingskamer van die toerusting vervoer word. Oor die algemeen het 'n tenk wat vloeibare stikstof verskaf 'n uitsetdruk tussen 0.3MPa en 0.8MPa. Vloeibare stikstof by -196℃ word maklik in stikstof verdamp tydens pyplynvervoer. Sodra die vloeibare stikstof met 'n gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1:700 in die pyplyn vergas is, sal dit 'n groot hoeveelheid vloeibare stikstofvloeiruimte beset en die normale vloei aan die einde van die vloeibare stikstofpyplyn verminder. Daarbenewens, in die vloeibare stikstof opgaartenk, is daar waarskynlik puin wat nie skoongemaak is nie. In die vloeibare stikstofpypleiding sal die bestaan van nat lug ook lei tot die opwekking van ysslak. As hierdie onsuiwerhede in die toerusting ontslaan word, sal dit onvoorspelbare skade aan die toerusting veroorsaak.
Daarom word die vloeibare stikstof in die buite-opgaartenk na die MBE-toerusting in die stofvrye werkswinkel vervoer met hoë doeltreffendheid, stabiliteit en skoon, en die lae druk, geen stikstof, geen onsuiwerhede, 24 uur ononderbroke, so 'n vervoerbeheerstelsel is 'n gekwalifiseerde produk.
Bypassende MBE-toerusting
Sedert 2005 optimaliseer en verbeter HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) hierdie stelsel en werk saam met internasionale MBE-toerustingvervaardigers. MBE-toerustingvervaardigers, insluitend DCA, REBER, het samewerkende verhoudings met ons maatskappy. MBE-toerustingvervaardigers, insluitend DCA en REBER, het aan 'n groot aantal projekte saamgewerk.
Riber SA is 'n toonaangewende wêreldwye verskaffer van molekulêre straalepitaxy (MBE) produkte en verwante dienste vir saamgestelde halfgeleiernavorsing en industriële toepassings. Die Riber MBE-toestel kan baie dun lae materiaal op die substraat neerlê, met baie hoë kontroles. Die vakuumtoerusting van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is toegerus met Riber SA Die grootste toerusting is Riber 6000 en die kleinste is Compact 21. Dit is in 'n goeie toestand en is deur klante erken.
DCA is die wêreld se voorste oksied MBE. Sedert 1993 is sistematiese ontwikkeling van oksidasietegnieke, antioksidant-substraatverhitting en antioksidantbronne uitgevoer. Om hierdie rede het baie vooraanstaande laboratoriums DCA-oksiedtegnologie gekies. Saamgestelde halfgeleier MBE-stelsels word regoor die wêreld gebruik. Die VJ vloeibare stikstof sirkulasiestelsel van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en die MBE-toerusting van verskeie modelle van DCA het die bypassende ervaring in baie projekte, soos die model P600, R450, SGC800 ens.
Prestasietabel
Sjanghai Instituut vir Tegniese Fisika, Chinese Akademie vir Wetenskappe |
Die 11de Institute of China Electronics Technology Corporation |
Instituut van Halfgeleiers, Chinese Akademie van Wetenskappe |
Huawei |
Alibaba DAMO Akademie |
Powertech Tegnologie Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Postyd: 26 Mei 2021