Kort van die molekulêre balkepitaksie (MBE)
Die tegnologie van molekulêre balkepitaksie (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier dun filmmateriaal met behulp van vakuumverdampingstegnologie voor te berei. Met die ontwikkeling van ultra-hoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei tot die veld van halfgeleierwetenskap.
Die motivering van navorsing oor halfgeleiermateriaal is die vraag na nuwe toestelle, wat die werkverrigting van die stelsel kan verbeter. Op sy beurt kan nuwe materiaaltegnologie nuwe toerusting en nuwe tegnologie lewer. Molecular Beam Epitaxy (MBE) is 'n hoë vakuumtegnologie vir epitaksiale laag (gewoonlik halfgeleier) groei. Dit gebruik die hittestraal van bronatome of molekules wat die enkele kristal -substraat beïnvloed. Die ultra-hoë vakuumkenmerke van die proses laat in-situ-metallisasie en groei van isolerende materiale op nuut gekweekte halfgeleieroppervlaktes toe, wat lei tot besoedelingsvrye koppelvlakke.
MBE -tegnologie
Die molekulêre balkepitaksie is uitgevoer in 'n hoë vakuum of ultra-hoë vakuum (1 x 10-8PA) omgewing. Die belangrikste aspek van die molekulêre balkepitaksie is die lae afsettingstempo, wat die film gewoonlik in staat stel om epitaksiaal te groei teen 'n tempo van minder as 3000 nm per uur. So 'n lae afsettingstempo benodig 'n hoë genoeg vakuum om dieselfde vlak van netheid te bereik as ander afsettingsmetodes.
Om aan die ultra-hoë vakuum hierbo beskryf te voldoen, het die MBE-toestel （Knudsen-sel） 'n koellaag, en die ultra-hoë vakuumomgewing van die groeikamer moet gehandhaaf word met behulp van 'n vloeibare stikstofsirkulasiestelsel. Vloeibare stikstof verkoel die interne temperatuur van die toestel tot 77 Kelvin (−196 ° C). Die lae temperatuuromgewing kan die inhoud van onsuiwerhede in vakuum verder verminder en beter toestande bied vir die afsetting van dun films. Daarom is 'n toegewyde vloeibare stikstofverkoelingsirkulasiestelsel nodig vir die MBE -toerusting om 'n deurlopende en bestendige toevoer van -196 ° C vloeibare stikstof te bied.
Vloeibare stikstofverkoelingsirkulasiestelsel
Vakuum vloeistof stikstofverkoelingsirkulasiestelsel bevat hoofsaaklik,
● Kryogene tenk
● Hoof- en tak -vakuum -baadjie -pyp / vakuum -baadjie -slang
● MBE Special Fase -skeier en vakuum -baadjie -uitlaatpyp
● Verskeie vakuumbaadjie -kleppe
● Gas-vloeistofversperring
● Vakuumbaadjiefilter
● Dinamiese vakuumpompstelsel
● Voorkoeling en suiwering van die herverhittingstelsel
HL Cryogenic Equipment Company het die vraag na MBE -vloeibare stikstofverkoelingstelsel, georganiseerde tegniese ruggraat opgemerk om 'n spesiale MBE -vloeibare stikstof -cooing -stelsel vir MBE -tegnologie en 'n volledige stel vakuum -insulaat suksesvol te ontwikkeledpypstelsel, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstellings gebruik is.
HL -kryogene toerusting
HL -kryogene toerusting wat in 1992 gestig is, is 'n handelsmerk wat aan Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China verbonde is. HL -kryogene toerusting is verbind tot die ontwerp en vervaardiging van die hoë vakuum -geïsoleerde kryogene pypstelsel en verwante ondersteuningstoerusting.
Besoek die amptelike webwerf vir meer inligtingwww.hlcryo.com, of e -pos aaninfo@cdholy.com.
Postyd: Mei-06-2021
