Opsomming van Molekulêre Bundel Epitaksie (MBE)
Die tegnologie van Molekulêre Bundel-epitaksie (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier-dunfilmmateriale voor te berei deur vakuumverdampingstegnologie te gebruik. Met die ontwikkeling van ultrahoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei na die veld van halfgeleierwetenskap.
Die motivering van halfgeleiermateriaalnavorsing is die vraag na nuwe toestelle, wat die werkverrigting van die stelsel kan verbeter. Op sy beurt kan nuwe materiaaltegnologie nuwe toerusting en nuwe tegnologie produseer. Molekulêre bundel-epitaksie (MBE) is 'n hoëvakuumtegnologie vir die groei van epitaksiale lae (gewoonlik halfgeleier). Dit gebruik die hittestraal van bronatome of molekules wat 'n enkelkristalsubstraat tref. Die ultrahoë vakuumeienskappe van die proses maak in-situ metallisasie en groei van isolerende materiale op nuutgegroeide halfgeleieroppervlaktes moontlik, wat lei tot besoedelingsvrye koppelvlakke.
MBE Tegnologie
Die molekulêre bundel-epitaksie is in 'n hoë vakuum of ultrahoë vakuum (1 x 10-8Pa) omgewing. Die belangrikste aspek van molekulêre bundel-epitaksie is die lae afsettingstempo, wat gewoonlik die film toelaat om epitaksiaal te groei teen 'n tempo van minder as 3000 nm per uur. So 'n lae afsettingstempo vereis 'n hoë genoeg vakuum om dieselfde vlak van skoonheid as ander afsettingsmetodes te bereik.
Om aan die ultrahoë vakuum wat hierbo beskryf word, te voldoen, het die MBE-toestel (Knudsen-sel) 'n verkoelingslaag, en die ultrahoë vakuumomgewing van die groeikamer moet gehandhaaf word deur 'n vloeibare stikstofsirkulasiestelsel te gebruik. Vloeibare stikstof verkoel die toestel se interne temperatuur tot 77 Kelvin (−196 °C). Die lae temperatuuromgewing kan die inhoud van onsuiwerhede in die vakuum verder verminder en beter toestande vir die afsetting van dun films bied. Daarom is 'n toegewyde vloeibare stikstofverkoelingssirkulasiestelsel nodig vir die MBE-toerusting om 'n deurlopende en bestendige toevoer van -196 °C vloeibare stikstof te verskaf.
Vloeibare stikstof verkoelingsirkulasiestelsel
Vakuum vloeibare stikstof verkoelingsirkulasiestelsel sluit hoofsaaklik in,
● kriogeniese tenk
● hoof- en takvakuummantelpyp / vakuummantelslang
● MBE spesiale faseskeier en vakuummantelde uitlaatpyp
● verskeie vakuummantelkleppe
● gas-vloeistofversperring
● vakuummantelfilter
● dinamiese vakuumpompstelsel
● Voorverkoeling- en suiweringstelsel vir herverhitting
HL Cryogenic Equipment Company het die vraag na MBE vloeibare stikstofverkoelingstelsels opgemerk, georganiseerde tegniese ruggraat om suksesvol 'n spesiale MBE vloeibare stikstofverkoelingstelsel vir MBE-tegnologie en 'n volledige stel vakuum-isolasie te ontwikkel.edpypstelsel, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstitute gebruik word.
HL Kriogeniese Toerusting
HL Cryogenic Equipment, wat in 1992 gestig is, is 'n handelsmerk wat geaffilieer is met Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment is verbind tot die ontwerp en vervaardiging van die hoëvakuum-geïsoleerde kriogeniese pypstelsel en verwante ondersteuningstoerusting.
Vir meer inligting, besoek asseblief die amptelike webwerfwww.hlcryo.com, of e-pos aaninfo@cdholy.com.
Plasingstyd: 6 Mei 2021
