Opsomming van molekulêre straalepitaxy (MBE)
Die tegnologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE) is in die 1950's ontwikkel om halfgeleier dunfilmmateriaal voor te berei deur vakuumverdampingstegnologie te gebruik.Met die ontwikkeling van ultrahoë vakuumtegnologie is die toepassing van tegnologie uitgebrei na die veld van halfgeleierwetenskap.
Die motivering van navorsing oor halfgeleiermateriaal is die vraag na nuwe toestelle, wat die werkverrigting van die stelsel kan verbeter.Op sy beurt kan nuwe materiaaltegnologie nuwe toerusting en nuwe tegnologie produseer.Molekulêre straalepitaxy (MBE) is 'n hoë vakuum tegnologie vir epitaksiale laag (gewoonlik halfgeleier) groei.Dit gebruik die hittestraal van bronatome of -molekules wat enkelkristalsubstraat beïnvloed.Die ultrahoë vakuum-eienskappe van die proses laat in-situ metallisering en groei van isolerende materiale op nuutgegroeide halfgeleieroppervlaktes toe, wat lei tot besoedelingvrye koppelvlakke.
MBE Tegnologie
Die molekulêre bundelepitaksie is uitgevoer in 'n hoë vakuum of ultrahoë vakuum (1 x 10)-8Pa) omgewing.Die belangrikste aspek van molekulêre bundel-epitaksie is die lae neerslagtempo, wat gewoonlik die film toelaat om epitaksiaal te groei teen 'n tempo van minder as 3000 nm per uur.So 'n lae neerslagtempo vereis 'n hoë genoeg vakuum om dieselfde vlak van netheid as ander afsettingsmetodes te bereik.
Om aan die ultrahoë vakuum te voldoen wat hierbo beskryf word, het die MBE-toestel (Knudsen-sel) 'n verkoelingslaag, en die ultrahoë vakuum-omgewing van die groeikamer moet onderhou word deur 'n vloeibare stikstofsirkulasiestelsel te gebruik.Vloeibare stikstof verkoel die toestel se interne temperatuur tot 77 Kelvin (−196 °C).Die lae temperatuur omgewing kan die inhoud van onsuiwerhede in vakuum verder verminder en bied beter toestande vir die afsetting van dun films.Daarom is 'n toegewyde vloeibare stikstof verkoeling sirkulasie stelsel nodig vir die MBE toerusting om 'n deurlopende en bestendige toevoer van -196 °C vloeibare stikstof te voorsien.
Vloeibare stikstof verkoeling sirkulasie stelsel
Vakuum vloeibare stikstof verkoeling sirkulasie stelsel sluit hoofsaaklik in,
● kryogeniese tenk
● hoof- en tak-vakuum-omhulde pyp / vakuum-omhulde slang
● MBE spesiale faseskeier en vakuumomhulde uitlaatpyp
● verskeie vakuum-omhulde kleppe
● gas-vloeistof versperring
● vakuumomhulde filter
● dinamiese vakuumpompstelsel
● Voorverkoeling en suiwer herverhittingstelsel
HL Cryogenic Equipment Company het die vraag na MBE vloeibare stikstof verkoelingstelsel, georganiseerde tegniese ruggraat opgemerk om 'n spesiale MBE vloeibare stikstof koesstelsel vir MBE tegnologie en 'n volledige stel vakuumisolasie suksesvol te ontwikkeledpypstelsel, wat in baie ondernemings, universiteite en navorsingsinstellings gebruik is.
HL Kryogeniese Toerusting
HL Cryogenic Equipment wat in 1992 gestig is, is 'n handelsmerk verbonde aan Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China.HL Cryogenic Equipment is verbind tot die ontwerp en vervaardiging van die High Vacuum Insulated Cryogenic Piping System en verwante ondersteuningstoerusting.
Vir meer inligting, besoek asseblief die amptelike webwerfwww.hlcryo.com, of e-pos nainfo@cdholy.com.
Postyd: Mei-06-2021